ASMPT FIREBIRD TCB 系列

全自動熱壓式固晶系統

特色

• 靈活的物料處理能力，專門處理異質整合 2D、2.5D 及 3D

• 并存晶圓及卷帶送料

• 可處理框條式基板 / 單一式基板 / 晶圓

• 特寬載具處理，適用于單一式基板

• 選配 SlimFEM 系統直接處理晶圓及玻璃基板

• 可靠的安裝基礎

• > 250 臺已在客戶廠房進行量產

• 創新工藝處理

• 惰性環境, 實現獨有的 LPC 制程及高產能

• 實時主動位置傾斜控制